Безмасляные вакуумные насосы ULVAC LR HR UR
Серия LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.
Продолжить
Механический бустерный насос Рутса Ulvac MBS-052
Быстрота откачки
50 м3/час
833 л/мин
13,9 л/сек
Предельное остаточное давление, мм рт. ст. (Па)*3
3x10-4 (4x10-2)
Присоединительные фланцы вход/выход
JIS VG-40 / JIS VF-40
Подробнее...
Агрегат откачной на базе насоса Руста и двухступенчатого пластинчато-роторного насоса Ulvac VMR-050
Быстрота откачки
50 м3/час
833 л/мин
13,9 л/сек
Предельное остаточное давление, мм рт. ст. (Па)*3
3x10-4 (4x10-2)
Присоединительные фланцы вход/выход
VG40
Параметры эл.сети и двигателя*1
200+550 Вт
~220 В АС 50 Гц
Подробнее...
Гибридные насосы Рутса Ulvac CR
Насосы серии СR представляют собой производительные агрегаты форвакуумной откачки на базе гибридных насосов Рутса.
Производительность насосов серии CR от 16 до 300 м3/час, предельное достигаемое давление – 0,5 Па.
Производительность моделей – 16, 30, 55, 300 м3/час. Номер в названии модели после символов CR обозначает производительность модели в м3/час.
Продолжить
Механические бустерные насосы ULVAC серия PMB-D
Механические бустерные насосы(насосы Рутса)используются в качестве усилителей быстротыоткачки и величины предельного давления на входе форвакуумных насосов, таких как пластинчато-роторные, золотниковые, сухие механические насосы или жидкостно-кольцевые вакуумные насосы. Диапазон давлений эффективной работы насосов Рутса составляет 0,75 – 0,75 х 10-3 мм рт.ст.
Принцип работы насосов Рутса заключается в сжатии порций откачиваемого газа при встречном вращении роторов с леминискатным профилем в корпусе насоса. На выхлопе насоса Рутса сжимаемый газ поступает в форвакуумный насос и выводится в атмосферу. Насосы Рутса не предназначены для работы без форвакуумного насоса. Низкое предельное давление обеспечивается за счет сверхмалых зазоров между статором и роторами, а производительность насоса определяется количеством оборотов роторов в единицу времени.
Компания ООО «Вактрон» представляет в России откачное оборудование японской фирмы ULVAC.
Продолжить
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».