Масло для вакуумных насосов
Для тех производств, где используются высококачественные насосы, где недопустимо применение масел неустановленного происхождения, где важно достигать предельного давления откачки вакуумного насоса, производитель вакуумной техники ULVAC Япония рекомендует масла ULVOIL.
Данные масла производятся и разливаются в тару на заводах Японии. ULVAC гарантирует доступность и наличие масел на территории России у сертифицированного представителя – ООО «Вактрон». Марка вакуумного масла выбирается исходя из рекомендации изготовителя насоса и области применения.
Физика работы масла в вакуумном насосе определяется двумя ключевыми характеристиками – вязкостью и давлением насыщенного пара. Вязкость характеризует способность масла смазывать поверхности и создавать равномерную уплотняющую пленку.
Предельное давление откачки вакуумного насоса зависит от давления насыщенного пара вакуумного масла. Если давление паров масла слишком высоко, например из-за низкого качества масла, то пары будут попадать в рабочую камеру и в изделие, загрязняя их.
Кинематическая вязкость представленных масел установлена при 40 oC, а давление насыщенного пара масел для форвакуумных насосов при 50 oC, а высоковакуумных при 25 oC, в соответствии с методикой изготовителя.
Масло для форвакуумных насосов
Если насос эксплуатируется в нормальных условиях и работает с неагрессивными газами, то используется минеральное масло.
- Для малогабаритных форвакуумных насосов с быстротой откачки менее 500 л/мин рекомендуются масла Ulvoil SMR-100, MR-100 и Ulvoil R-4. Их кинематическая вязкость составляет 48 мм2/с, а давление насыщенного пара – не более 1,3.10-2 Па.
- Для форвакуумных насосов с быстротой откачки от 500 до 10000 л/мин – масла Ulvoil MR-200 и Ulvoil R-7. Вязкость масел типа MR-200 составляет 70 мм2/с, давление пара – ниже 1,3.10-3 Па.
- Для крупных насосов с быстротой откачки более 10000 л/мин предназначается масло MR-250, вязкость – 105 мм2/с, давление пара – не более 1,3.10-3 Па.
Синтетическое вакуумное масло необходимо в работе при высоких нагрузках и температурах, а также при воздействии агрессивных сред, кислорода и смесей с хлоридами и фторидами.
- Синтетическое масло для насосов с быстротой откачки менее 500 л/мин с антиокислительными добавками и устойчивостью к активным газам – Ulvoil R-2 (вязкость – 26 мм2/с, давление насыщенного пара – ниже 4.10-4 Па).
- Масла Ulvoil Super R-7000 и R-7500 – это рабочая жидкость с антикоррозионными свойствами. Оно предназначено для пластинчато-роторных насосов средней быстроты откачки, в том числе для полупроводниковой и холодильной промышленности (вязкость – 68 и 82 мм2/с соответственно, давление пара – ниже 4.10-4 Па).
- Ulvoil Super R-8000 – это синтетическое масло для крупных насосов с быстротой откачки от 10000 л/мин. Данное масло применяется в насосах с масляным уплотнением для откачки активных газов, паров кислот на процессах травления, в процессах химического осаждения из паровой фазы LPCVD и на высоких температурах и нагрузках (вязкость – 95 мм2/с, давление пара ниже 4.10-5 Па).
Масло для высоковакуумных насосов
Масла для струйных насосов должны быть подобраны особенно тщательно. В данной сфере используются силиконовые масла. Основными требованиями к ним являются низкое давление пара, высокая термическая стабильность, высокая устойчивость к атмосферному кислороду при нагревании, высокая молекулярная масса, отсутствие горючести и токсичности.
Масло для бустерных эжекторных насосов – Ulvoil B-6 (вязкость – 24 мм2/с, давление пара ниже 6,7.10-4 Па). Бустерные масляные насосы применяются на вакуумных печах и установках, требующих откачки больших потоков и максимальной производительности в диапазоне давлений рабочего вакуума до 0,1 Па. Данные насосы широко применяются в металлургии, а также в химическом производстве и на установках напыления на рулонные материалы.
Масло для диффузионных насосов общего применения – Ulvoil D-11 (вязкость – 22 мм2/с, давление пара ниже 7.10-6 Па). Диффузионные насосы отличаются от бустерных эжекторных насосов возможностью откачки до более низкого предельного остаточного давления. Поэтому требования к давлению паров масла для диффузионных насосов выше.
Масло с повышенной температурной стойкостью для диффузионных насосов – Ulvoil D-31 (вязкость – 26 мм2/с, давление пара ниже 1,3.10-6 Па). Это синтетическое силиконовое масло, устойчивое к окислению при высоких температурах и к загрязнениям откачиваемой среды. Масло используется для работы насосов Ulvac U и ULK.
Замена масла должна производиться согласно инструкции по эксплуатации насоса с учетом особенностей сферы применения. В насосах аналитического оборудования в лабораторных условиях масло рекомендуется менять каждые шесть месяцев. Это справедливо для масс-спектрометрических течеискателей, микроскопов, спектрометров, хроматографов и другого высокотехнологичного оборудования, работающего с неагрессивными газами. Промышленное применение и активная откачиваемая среда вызывают необходимость в более частой смене рабочей жидкости вакуумного насоса.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».