Сборник конференции Вакуумная техника и технологии 2019

Вакуумная техника и технологии – 2019. Труды 26-й Всероссийской научно-технической конференции с между- народным участием. 18–20 июня 2019 г. / под ред. Д. К. Кострина и С. А. Марцынюкова. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2019. – 274 с.

Труды составлены по материалам докладов, представленных на 26-ю Всероссийскую научно-техническую конференцию с международным участием. В материалах докладов изложены результаты исследований в области физики вакуума, вакуумметрии, масс-спектрометрии и контроля герметичности. Рассмотрены актуальные вопросы получения вакуума, создания вакуумного оборудования и разработки новых технологических процессов. Особое внимание уделено решению задач вакуумной техники в формировании пленок и покрытий плазменными и смежными методами, изучению свойств покрытий и методам их исследования, новым материалам покрытий, в том числе наноматериалам, новым областям их использования, разработке современного оборудования и технологических процессов.

Секция «Вакуумная техника»

1.         Десять лучших инновационных продуктов выставки «VacuumTechExpo 2019»

С. Б. Нестеров         

2.         Инновационное развитие Российского центра вакуумного машиностроения

Е. Н. Капустин        

3.         Улучшение характеристик спирального вакуумного насоса за счет компенсации тепловых деформаций

А. В. Бурмистров, С. И. Саликеев, А. А. Райков, А. В. Тюрин           

4.         Современные тенденции в обучении студентов вакуумной технике и технологиям

Ю. В. Панфилов, С. Б. Нестеров, Л. Л. Колесник, С. В. Сидорова, Ю. Б. Цветков 

5.         Реконструкция системы создания вакуума для ректификационной колонны разделения моноэтаноламина

Э. В. Осипов, Д. Бугембе, Э. Ш. Теляков, С. И. Поникаров    

6.         Разработка электрода деформационного ёмкостного вакуумметра

В. Н. Горобей, Р. Э. Кувандыков 

7.         Разработка схемы измерительного моста ёмкостного вакуумметра

Р. Э. Кувандыков    

8.         Разработка микро-электромеханического вакуумметра

В. Н. Горобей, Р. Э. Кувандыков, Р. А. Тетерук

9.         Высокоточные цифровые датчики абсолютного давления МИДА-ДА-15-Э на основе структур «кремний на сапфире»

Ю. А. Васьков, Е. Г. Савченко, В. М. Стучебников      

10.       Сопряжение характеристик технологических объектов и вакуумсоздающих систем

Э. В. Осипов, Д. Бугембе, Э. Ш. Теляков, С. И. Поникаров    

11.       Результаты испытаний с целью утверждения типа установки воспроизведения микропотоков газов в вакууме

А. В. Кологов, В. Н. Горобей, А. А. Чернышенко

12.       Современное состояние и перспективы развития эталонной базы в области измерений низких абсолютных давлений и вакуума

А. А. Чернышенко  

13.       Разработка автоматизированного вакуумного стенда для тестирования альтиметров

А. В. Лилло, А. Д. Стоцкая

14.       Контроль герметизирующей способности вакуумных материалов и уплотнительных колец для вакуумных систем

М. Л. Виноградов, Д. К. Кострин 

15.       Калибровка средств измерений низких абсолютных давлений

А. И. Анцукова, В. Н. Горобей, А. А. Пименова, А. Б. Любомиров  

16.       Новый метод управления сверхмалыми потоками газов

Р. О. Емельяненко, Е. А. Деулин  

17.       Modern engineering tools for the development of new samples of vacuum process equipment

Ya O Zhelonkin, A A Biktashev, S I Salikeev, I A Sungatullin, O V Zhelonkin  

18.       Development of a temperature controlled container for high accuracy capacitance ma- nometers

R. Kangi        

19.       The preliminary results of the regional key comparison COOMET.M.P-K15 in the pressure range from 0.3 mPa to 0.9 Pa

R. Kangi, A. Elkatmis, A. Chernyshenko    

Секция «Вакуумная технология»

20.       Разработка математической модели формирования тонких пленок оксида цинка с заданными значениями диэлектрической проницаемости

Д. Е. Шашин, Н. И. Сушенцов, С. А. Степанов 

21.       Особенности использования традиционных средств диагностики сверхзвуковых струй разреженных газов в потоках с кластерами

А. Е. Зарвин, К. A. Дубровин, В. Э. Художитков, В. В. Каляда, А. С. Яскин          

22.       Физика появления изотопов водорода при трении

Е. А. Деулин, Е. Р. Тютюкин        

23.       Наноструктурные керамикометаллические покрытия, полученные ионноплазменным вакуумнодуговым методом

И. В. Блинков, Д. С. Белов, А. О. Волхонский, А. В. Черногор, В. С. Сергевнин   

24.       О возможности применения детонационных керамических покрытий в качестве поглотителей СВЧ-энергии

А. С. Вашин, С. В. Евсеев, Г. А. Жабин, Г. Ф. Корепин, А. Н. Пашков        

25.       Структура и трибологическое поведение титансодержащих покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением

М. М. Хрущов, Е. А. Марченко, И. С. Левин, В. М. Авдюхина, Е. В. Кашуркин,

М. В. Атаманов, М. И. Петржик, Е. А. Образцова

26.       Методика рентгендифракционного исследования структурно-фазового состояния покрытий с нанокомпозитной структурой и ее применение для изучения твердых углеродных покрытий, легированных металлами

М. М. Хрущов, В. М. Авдюхина, И. С. Левин   

27.       ВАХ магнетрона с горячей титановой мишенью, распыляемой в трехкомпонентной смеси газов

В. И. Шаповалов     

28.       Моделирование процессов массопереноса плазмы вакуумно-дуговых установок через неоднородное магнитное поле сепараторов

А. В. Черногор, И. В. Блинков, В. С. Сергевнин, А. П. Демиров       

29.       ВАХ магнетрона с горячей титановой мишенью, распыляемой в смеси аргона и кислорода

Е. А. Минжулина, В. И. Шаповалов, Д. С. Шестаков   

30.       Оценка влияния параметров процесса магнетронного распыления на его энергетическую эффективность

В. В. Тлявлин, П. В. Петухов, Зау Пхо Аунг, Л. Л. Колесник 

31.       Обзор последних разработок мощных электронных приборов с электростатическим управлением

Е. Д. Прялухин, А. К. Шануренко

32.       Серия промышленных вакуумных установок для технологических процессов на пластинах диаметром 150 и 200 мм

В. В. Одиноков, В. В. Панин, В. М. Долгополов, П. А. Иракин,

А. В. Шубников, С. В. Моргун

33.       Разработка, синтез и изготовление многослойных тонкопленочных фильтров для инфракрасных сенсоров горючих газов и паров горючих жидкостей           

А. А. Макеенков, А. М. Баранов

34.       Mасс-спектрометрический контроль герметичности крупных объектов методом натекания пробного вещества

В. И. Барышников, Л. Н. Розанов, А. Н. Соколов, В. Н.Соловьёв

35.       Целесообразность применения ионно-плазменной обработки инструмента для фрезерования титанового сплава Ti-6Al-4V, полученного методом ковки и электронно-лучевого плавления

С. Н. Григорьев, С. В. Федоров, Н. Капустина

36.       Тонкопленочные вакуумные технологии для получения электролитических конденсаторных структур высокой емкости

В. В. Слепцов, Л. В. Кожитов, Д. Г. Муратов, А. В. Попкова, А. В. Савкин,

А. О. Дителева, А. П. Козлов

37.       Влияние ионной модификации поверхности быстрорежущей стали на триботехнические характеристики

М. Ш. Мигранов, С. Р. Шехтман, А. М. Мигранов

38.       Износостойкость фильтрованных нанокристаллических покрытий на режущем инструменте

М. Ш. Мигранов, С. Р. Шехтман, А. М. Мигранов

39.       Компьютерное моделирование процесса конденсации наноразмерных пленок в вакууме

Чу Тронг Шы, В. А. Тупик, А. А. Потапов, В. И. Марголин

40.       Оптические и механические свойства фторуглеродных покрытий, сформированных в матричном режиме нанесения с помощью плазмотрона атмосферного давления

А. В. Шведов, В. М. Елинсон, П. А. Щур, Д. В. Кириллов

41.       Определение температуры составной подложки из разнородных материалов в процессе ИК-нагрева в вакууме

С. П. Бычков

42.       Оценка чувствительности телевизионного датчика для радиационно-стойкой передающей телевизионной камеры на основе вакуумной передающей трубки

Е. В. Зайцева

43.       Формирование невертикальных мезаструктур на 4H-SiC методом РИПТ с использованием кремнийорганического маскирующего покрытия

А. В. Серков, В. А. Ильин

44.       Антимикробные антиадгезионные свойства  наноструктурированных фторуглеродных пленок, полученных в условиях переходных процессов при использовании двухкомпонентных газовых смесей

В. М. Елинсон, П. А. Щур, Е. А. Дешевая, Л. И. Кравец

45.       Изгиб решетки кристаллов Те, растущих в вакуумных конденсатах пленок типа Ме-Те

В. Ю. Колосов, К. Л. Швамм

46.       Термическая стабильность, механические и трибологические свойства ионно-плазменных покрытий Ti-Al-Si-N

А. О. Волхонский, А. П. Демиров, В. М. Шестакова, Т. В. Киселева

47.       Исследование особенностей осаждения пленок диоксида ванадия методом реактивного магнетронного распыления

А. Е. Комлев, Е. С. Шутова, М. П. Сыпко          

48.       Определение порога чувствительности метода  контроля толщины осаждаемой диэлектрической  пленки, основанного на эффекте поверхностного плазмонного резонанса

А. Е. Комлев, Р. В. Дюкин, Е. С. Шутова           

49.       Эффективные коэффициенты распыления ионами аргона сплавов хромель и копель в магнетронной распылительной системе

В. А. Рязанов, О. П. Плотникова  

50.       Исследование влияния параметров импульсного источника питания на свойства высокомощного газового разряда магнетрона

Т. С. Борзыкин, В. В. Карзин, Д. А. Иванов, З. Г. Люллин, Р. И. Резников  

51.       Исследование спектров испускания высокомощного импульсного газового разряда магнетрона при реактивном распылении

Д. В. Дохтаренко, В. В. Карзин, Д. Д. Антощенко, С. М. Мухангали, И. С. Гнивуш          

52.       Методика создания схем замещения ёмкостных батарей импульсных источников питания мощных технологических систем

В. Д. Гончаров, Р. В. Яшкардин, А. М. Волынов          

53.       Особенности расчёта магнитных и температурных полей планарных магнетронных установок при распылении магнитных мишеней

В. Д. Гончаров, Р. В. Яшкардин   

54.       Разработка портативного прибора на основе разряда в парах жидкости для проведения экологического мониторинга водных ресурсов в полевых условиях

А. Н. Рамазанов, Д. К. Кострин, С. А. Марцынюков    

55.       Динамические свойства тлеющего разряда в протяженных трубках

А. С. Киселев, В. В. Меньшикова, Н. А. Сейфулина, Е. А. Смирнов

56.       Исследование электрических характеристик плазмы гелий-неонового лазера

А. С. Киселев, Е. И. Лупандина, Д. А. Соколов, Е. А. Смирнов        

57.       Моделирование движения катодных пятен по поверхности катода

Д. К. Кострин, С. А. Марцынюков          

58.       Исследование влияния внешнего магнитного поля на режим работы газоразряд- ного лазера

В. В. Черниговский, С. А. Марцынюков, Д. К. Кострин         

59.       Разработка технологии изготовления микрофлюидного чипа для анализа состава человеческого пота

Е. А. Севрюгина     

60.       Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени

А. Ю. Федоткин, А. И. Козельская, С. И. Твердохлебов          

61.       Памяти товарища – Корепин Геннадий Федосиевич

Скачать сборник https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf