Юстировка магнитной системы
"Сердце" течеискателя ТИ1-50 - статический масс-спектрометрический анализатор. Принцип работы анализатора состоит в разделении ионов по массам в постоянных электрическом и магнитном полях.
Для корректной работы анализатора, обеспечения максимальной чувствительности прибора магнитная система анализатора должна быть тонко настроена в определенное положение.
Настройка магнитной системы - это просто! Не стоит бояться этой процедуры. При неудовлетворительных результатах Qmin после проведения АПС (по паспорту Qmin<5*10^(-13) м3*Па/сек), стоит провести замену катодов и юстировку магнитной системы.
Шаг 1.
Включить течеискатель. Дождаться выхода в автоматический режим. Ослабить два крепежных шестигранных винта магнитной системы. Ослабить 4 юстировочных винта. Магнитная система должна свободно перемещаться по корпусу анализатора.
Шаг 2.
Теперь необходимо установить магнитную систему по центру корпуса анализатора, слегка притянуть магнитную систему крепежными болтами и провести АПС. Картина АПС должна иметь характерный гелиевый пик. При отсутствии выраженного пика - провести повторную АПС.
Шаг 3.
Выйти в ручной режим. Катод К1 должен быть включен. Дождаться стабилизации уровня фона близ нулевого значения (порядка 1250 мВ). Открыть клапан внутреннего гелита V5. Следить за мгновенным значением сигнала на внутренний гелит (мВ). Подвижкой магнитной системы вдоль мнимых осей "X" и "Y" добиться максимальной дельты отклика на внутренний гелит. Например: уровень фона - 1250 мВ, сигнал на внутренний гелит - 1252,67 мВ, дельта сигнала 2,67 мВ. Аккуратно, фиксируя руками магнитную систему в положении максимальной дельты сигнала, начинаем затягивать крепежные шестигранные болты. Непрерывно следим за дельтой сигнала, не допускаем сильного "сползания" дельты сигнала при затяжке магнитной системы.
Шаг 4.
Окончательная тонкая юстировка магнитной системы осуществляется четырьмя юстировочными винтами. Подтягивая юстировочные винты находим максимальную дельту сигнала. Затем окончательно затягиваем два крепежных болта магнитной системы.
Шаг 5.
Магнитная система отъюстирована. Осталось провести АПС в автоматическом режиме, убедиться что Qmin укладывается в паспортные значения.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».